苏州市福浩达自动化装备有限公司

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自动光学检测系统(Newprot)

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功能特点:

6-12英寸晶圆上的自动光学检测(AOI),

中空旋转平台集成Z轴20mm升降

兼容6,8,12in晶圆

规格参数:

负载:25kg

有效行程:XYZT500x500x19mmx360°

动态精度:全局动态<10µm

误差精度:在20Hz循环时跟随误差1.5μm

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